中微公司评级买入刻蚀能力进一步提高，MOCVD业务拐点来临
股票代码 ：688012
股票简称 ：中微公司
报告名称 ：刻蚀能力进一步提高，MOCVD业务拐点来临
评级 ：买入
行业：半导体
证券研究报告 | 年报点评报告
2022 年 04 月 01 日
中微公司（688012.SH）
刻蚀能力进一步提高，MOCVD 业务拐点来临
公司发布 2021 年报。2021 年公司营业收入 31 亿元，增长 37%；归母净利润 10 亿元，增长 105%；扣非归母净利润 3 亿元，同比大幅增长；剔除股份支付后扣非归母净利润 5 亿元，同 比增长 267%。股权激励费用约 2 亿，公允价值变动 4.6 亿（税前），补助 3.5 亿（税前）。营收结构上，刻蚀收入 20 亿元，增长 55%，毛利率 44%；MOCVD 收入 5 亿元，增长 1%，毛利率 34%（同比提升 15pct）。
| 买入（维持） |
股票信息
| 行业 前次评级 | 半导体 买入 |
| 需求旺盛，合同负债持续增长。公司 2021 年新签订单 41 亿元，同比增长 91%。报告期末， | 3 月 31 日收盘价(元) | 116.45 |
| 公司合同负债 13.7 亿元，环比 21Q3 末提升 53%。公司存货 17.6 亿元，其中发出商品约 8.5 | ||
| 总市值(百万元) | 71,761.67 | |
| 亿元（同比增长 72%）。合同负债反应在手订单，发出商品反应未来收入确认。 | ||
| ICP 放量增长强劲，MOCVD 业务拐点来临。 | 总股本(百万股) | 616.24 |
| 其中自由流通股(%) | 53.36 | |
| （1）公司 2021 年付运 298 腔 CCP，产量增长 40%，并取得 5nm 及以下逻辑重复订单，且在 | 30 日日均成交量(百万股) | 5.62 |
128 层 3D NAND 广泛应用。公司正开发新一代涵盖 128nm 及以上的关键刻蚀应用以及极高深 宽比刻蚀设备。
股价走势
| （2）公司 2021 年付运 134 腔 ICP，产量增长 235%，得到多个国内客户订单。公司下一代 ICP | 123% | 中微公司 | 沪深300 | |
| 目标满足 5nm 及以下逻辑、1X 纳米 DRAM 及 128 层以上 3D NAND 刻蚀需求。 | ||||
| （3）公司用于 Mini LED 的 Unimax 设备在 2021 年订单超过 100 腔，且 2022 年 2 月兆驰增量 | 103% | 2021-07 | 2021-11 | 2022-03 |
| 82% | ||||
| 订单 52 腔。此外，公司开发 GaN 功率器件 MOCVD，处于交付客户验证阶段。 | ||||
| 62% | ||||
| 41% | ||||
| （4）公司在钨填充 CVD 获得阶段性进展，与客户对接验证，且正进一步开发 CVD 和 ALD。 | ||||
| 21% | ||||
| 0% | ||||
| 公司在 3 月 10 日增资上海睿励 1.08 亿元，持股比例由 20%增至 29%。上海睿励主营的产 | ||||
| -21% | ||||
| 品为光学膜厚测量设备和光学缺陷检测设备，以及硅片厚度及翘曲测量设备等，其光学测量设 | -41% | |||
| 备 TFX3000 已应用于 28nm 产线，正验证于 14nm 产线；应用于 64 层 3D NAND，正验证于 | 2021-04 | |||
96 层 3D NAND。
持续投入研发。公司研发投入 7.28 亿元，增长 14%，研发投入占营收约 23%。其中，研发费 用为 5.95 亿元，增长 6%。公司研发人员 415 人，占员工总数 40%。公司研发新品包括新一 代 CCP、新一代 ICP、功率 GaN MOCVD 以及 CVD 类，快速打开产品线。
半导体刻蚀设备龙头，打造旗舰平台型企业。公司成功打造一支具有创造力和核心竞争力的技 术团队。公司 MOCVD 持续升级迎来 Mini LED 拐点，CCP 产品涵盖国内外一线客户，ICP 产品
作者
分析师郑震湘
执业证书编号：S0680518120002 邮箱：zhengzhenxiang@gszq.com
快速迭代并放量，并布局沉积等新产品线，打造半导体设备旗舰企业，并通过外延投资沈阳拓 分析师陈永亮
荆、睿励仪器等推进平台型建设。
半导体刻蚀设备龙头，打造旗舰平台型企业。公司成功打造一支具有创造力和核心竞争力的 技术团队，并成功打开商业化空间。公司 MOCVD 持续升级，CCP 产品涵盖国内外一线客户，ICP 产品快速迭代并放量，并继续布局半导体设备新产品线，打造半导体设备旗舰企业，并通 过外延投资沈阳拓荆、睿励仪器、山东天岳等公司推进平台型建设。预计公司 2022~2024 年 归母净利润 11.05/13.24/15.45 亿元，维持“买入”评级。
风险提示：下游需求不及预期。
执业证书编号：S0680520080002 邮箱：chenyongliang@gszq.com
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| 财务指标 | 2020A | 2021A | 2022E | 2023E | 2024E | 生外延协同打造设备平台》2021-07-02 |
| 营业收入（百万元） | 2,273 | 3,108 | 4,788 | 6,438 | 8,691 | |
| 增长率 yoy（%） | 16.8 | 36.7 | 54.1 | 34.5 | 35.0 | |
| 归母净利润（百万元） | 492 | 1,011 | 1,105 | 1,324 | 1,545 | |
| 增长率 yoy（%） | 161.0 | 105.5 | 9.2 | 19.9 | 16.7 | |
| EPS 最新摊薄（元/股）0.80 | 1.64 | 1.79 | 2.15 | 2.51 | ||
| 净资产收益率（%） | 11.3 | 7.3 | 7.3 | 8.1 | 8.6 | |
| P/E（倍） | 145.8 | 71.0 | 65.0 | 54.2 | 46.4 | |
| P/B（倍） | 16.4 | 5.1 | 4.8 | 4.4 | 4.0 | |
资料来源：Wind，国盛证券研究所注：股价为 2022 年 3 月 31 日收盘价
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| 2022 年 04 月 01 日 |
财务报表和主要财务比率
| 资产负债表（百万元） | 利润表（百万元） | ||||||||||
| 会计年度 | 2020A | 2021A | 2022E | 2023E | 2024E | 会计年度 | 2020A | 2021A | 2022E | 2023E | 2024E |
| 流动资产 | 4198 | 13731 | 14387 | 16166 | 17439 | 营业收入 | 2273 | 3108 | 4788 | 6438 | 8691 |
| 现金 | 1132 | 8659 | 8655 | 8873 | 8875 | 营业成本 | 1417 | 1761 | 2382 | 3412 | 4693 |
| 应收票据及应收账款 | 384 | 605 | 919 | 1129 | 1636 | 营业税金及附加 | 2 | 19 | 15 | 18 | 28 |
| 其他应收款 | 33 | 18 | 60 | 44 | 97 | 营业费用 | 237 | 296 | 620 | 692 | 948 |
| 预付账款 | 9 | 21 | 25 | 37 | 47 | 管理费用 | 153 | 203 | 203 | 358 | 476 |
| 存货 | 1064 | 1762 | 2061 | 3416 | 4118 | 研发费用 | 331 | 398 | 620 | 842 | 1160 |
| 其他流动资产 | 1576 | 2667 | 2667 | 2667 | 2667 | 财务费用 | -7 | -71 | -162 | -104 | -37 |
| 非流动资产 | 1603 | 3002 | 3458 | 3865 | 4318 | 资产减值损失 | -17 | -3 | 0 | 0 | 0 |
| 长期投资 | 424 | 555 | 670 | 783 | 895 | 其他收益 | 106 | 192 | 0 | 0 | 0 |
| 固定资产 | 183 | 218 | 448 | 616 | 808 | 公允价值变动收益 | 257 | 294 | 140 | 175 | 216 |
| 无形资产 | 560 | 825 | 978 | 1130 | 1275 | 投资净收益 | 27 | 143 | 42 | 54 | 67 |
| 其他非流动资产 | 436 | 1404 | 1362 | 1335 | 1340 | 资产处置收益 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 |
| 资产总计 | 5801 | 16733 | 17845 | 20031 | 21758 | 营业利润 | 515 | 1133 | 1292 | 1449 | 1707 |
| 流动负债 | 1233 | 2571 | 2544 | 3408 | 3591 | 营业外收入 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 |
| 短期借款 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | 营业外支出 | 2 | 1 | 1 | 1 | 1 |
| 应付票据及应付账款 | 422 | 735 | 831 | 1411 | 1672 | 利润总额 | 513 | 1133 | 1292 | 1448 | 1706 |
| 其他流动负债 | 810 | 1837 | 1714 | 1997 | 1919 | 所得税 | 20 | 122 | 187 | 124 | 161 |
| 非流动负债 | 199 | 222 | 256 | 254 | 252 | 净利润 | 492 | 1011 | 1105 | 1324 | 1545 |
| 长期借款 | 0 | 0 | 35 | 32 | 30 | 少数股东损益 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 |
| 其他非流动负债 | 199 | 222 | 222 | 222 | 222 | 归属母公司净利润 | 492 | 1011 | 1105 | 1324 | 1545 |
| 负债合计 | 1432 | 2793 | 2800 | 3662 | 3843 | EBITDA | 563 | 969 | 1078 | 1257 | 1538 |
| 少数股东权益 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | EPS（元） | 0.80 | 1.64 | 1.79 | 2.15 | 2.51 |
| 股本 | 535 | 616 | 616 | 616 | 616 | 主要财务比率 | |||||
| 资本公积 | 3819 | 12288 | 12288 | 12288 | 12288 | ||||||
| 留存收益 | 37 | 1048 | 2153 | 3477 | 5023 | 会计年度 | 2020A | 2021A | 2022E | 2023E | 2024E |
| 归属母公司股东权益 | 4369 | 13940 | 15045 | 16369 | 17914 | 成长能力 | 16.8 | 36.7 | 54.1 | 34.5 | 35.0 |
| 负债和股东权益 | 5801 | 16733 | 17845 | 20031 | 21758 | 营业收入(%) | |||||
| 营业利润(%) | 160.1 | 120.1 | 14.0 | 12.1 | 17.8 | ||||||
| 归属于母公司净利润(%) | 161.0 | 105.5 | 9.2 | 19.9 | 16.7 | ||||||
获利能力
| 现金流量表（百万元） | 毛利率(%) | 37.7 | 43.4 | 50.3 | 47.0 | 46.0 | |||||
| 净利率(%) | 21.7 | 32.5 | 23.1 | 20.6 | 17.8 | ||||||
| 会计年度 | 2020A | 2021A | 2022E | 2023E | 2024E | ROE(%) | 11.3 | 7.3 | 7.3 | 8.1 | 8.6 |
| 经营活动现金流 | 846 | 1016 | 122 | 365 | 232 | ROIC(%) | 10.1 | 5.5 | 5.8 | 6.5 | 7.2 |
| 净利润 | 492 | 1011 | 1105 | 1324 | 1545 | 偿债能力 | 24.7 | 16.7 | 15.7 | 18.3 | 17.7 |
| 折旧摊销 | 84 | 96 | 45 | 71 | 97 | 资产负债率(%) | |||||
| 财务费用 | -7 | -71 | -162 | -104 | -37 | 净负债比率(%) | -21.9 | -60.9 | -56.2 | -53.0 | -48.4 |
| 投资损失 | -27 | -143 | -42 | -54 | -67 | 流动比率 | 3.4 | 5.3 | 5.7 | 4.7 | 4.9 |
| 营运资金变动 | 295 | 155 | -684 | -698 | -1090 | 速动比率 | 2.5 | 4.6 | 4.8 | 3.7 | 3.7 |
| 其他经营现金流 | 10 | -32 | -140 | -175 | -216 | 营运能力 | 0.4 | 0.3 | 0.3 | 0.3 | 0.4 |
| 投资活动现金流 | -537 | -6230 | -319 | -249 | -268 | 总资产周转率 | |||||
| 资本支出 | 252 | 497 | 341 | 293 | 342 | 应收账款周转率 | 6.1 | 6.3 | 6.3 | 6.3 | 6.3 |
| 长期投资 | -267 | -5813 | -115 | -113 | -112 | 应付账款周转率 | 4.4 | 3.0 | 3.0 | 3.0 | 3.0 |
| 其他投资现金流 | -552 | -11546 | -94 | -69 | -38 | 每股指标（元） | 0.80 | 1.64 | 1.79 | 2.15 | 2.51 |
| 筹资活动现金流 | 1 | 8286 | 193 | 103 | 38 | 每股收益(最新摊薄) | |||||
| 短期借款 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | 每股经营现金流(最新摊薄) | 1.37 | 1.65 | 0.20 | 0.59 | 0.38 |
| 长期借款 | 0 | 0 | 35 | -3 | -2 | 每股净资产(最新摊薄) | 7.09 | 22.62 | 24.41 | 26.56 | 29.07 |
| 普通股增加 | 0 | 81 | 0 | 0 | 0 | 估值比率 | 145.8 | 71.0 | 65.0 | 54.2 | 46.4 |
| 资本公积增加 | 130 | 8468 | 0 | 0 | 0 | P/E | |||||
| 其他筹资现金流 | -130 | -264 | 158 | 106 | 39 | P/B | 16.4 | 5.1 | 4.8 | 4.4 | 4.0 |
| 现金净增加额 | 285 | 3058 | -4 | 219 | 2 | EV/EBITDA | 123.2 | 62.7 | 56.4 | 48.2 | 39.4 |
资料来源：Wind，国盛证券研究所注：股价为 2022 年 3 月 31 日收盘价
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| 2022 年 04 月 01 日 |
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投资评级说明
| 投资建议的评级标准 | 评级 | 说明 | |
| 评级标准为报告发布日后的 6 个月内公司股价（或行业 指数）相对同期基准指数的相对市场表现。其中 A 股市 场以沪深 300 指数为基准；新三板市场以三板成指（针 对协议转让标的）或三板做市指数（针对做市转让标的） 为基准；香港市场以摩根士丹利中国指数为基准，美股 市场以标普 500 指数或纳斯达克综合指数为基准。 | 股票评级 | 买入 | 相对同期基准指数涨幅在 15%以上 |
| 增持 | 相对同期基准指数涨幅在 5%~15%之间 | ||
| 持有 | 相对同期基准指数涨幅在-5%~+5%之间 | ||
| 减持 | 相对同期基准指数跌幅在 5%以上 | ||
| 行业评级 | 增持 | 相对同期基准指数涨幅在 10%以上 | |
| 中性 | 相对同期基准指数涨幅在-10%~+10%之 间 | ||
| 减持 | 相对同期基准指数跌幅在 10%以上 |
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