中微公司评级买入系列跟踪报告之三：公司2021年扣非净利润大幅增长，ICP刻蚀机和薄膜沉积设备进展迅速
股票代码 ：688012
股票简称 ：中微公司
报告名称 ：系列跟踪报告之三：公司2021年扣非净利润大幅增长，ICP刻蚀机和薄膜沉积设备进展迅速
评级 ：买入
行业：半导体
2022 年 4 月 10 日
公司研究
公司 2021 年扣非净利润大幅增长，ICP 刻蚀机和薄膜沉积设备进展迅速
——中微公司（688012.SH）系列跟踪报告之三
| 买入（维持） 当前价：116.19 元 | 要点 |
事件：
| 作者 | |||||
| 分析师：刘凯 执业证书编号：S0930517100002 021-52523849 kailiu@ebscn.com 联系人：杨德珩 yangdh@ebscn.com | 022 年 3 月 31 日，公司发布 2021 年年度报告：公司 2021 年营业收入为 31.08 亿元，同比增长 36.72%；实现归母净利润 10.11 亿元，同比增长 105.49%；实现 扣非归母净利润 3.24 亿元，同比增长 1291.10%；毛利率为 43.36%，同比增长 5.69pcts；净利率为 32.54%，同比增长 10.88pcts。 公司 2021Q4 营业收入为 10.35 亿元，单季环比增长 41.03%，单季同比增长 29.91%；实现归母净利润 4.7 亿元，单季环比增长 223.34%，单季同比增长 118.14%；实现扣非归母净利润 1.59 亿元，单季环比增长 54.36%，单季同比增长 | ||||
| 市场数据 | 131.82%；毛利率为 44.71%，单季环比增长 1.40pcts，单季同比增长 1.69pcts； | ||||
| 总股本(亿股) | 6.16 | 净利率为 45.36%，单季环比增长 25.59pcts，单季同比增长 18.34pcts。 点评： | |||
| 总市值(亿元)： | 716.01 | ||||
| 一年最低/最高(元)： | 104.50/234.97 | ||||
| 近 3 月换手率： | 57.21% | ||||
| 股价相对走势 | 受益于半导体设备市场发展以及产品的竞争优势，公司 2021 年扣非净利润和新增 订单大幅增长。 | ||||
| 公司 2021 年营业收入为 31.08 亿元，同比增长 36.72%，增长迅速；归母净利润 10.11 亿元，同比增长 105.49%；扣非净利润为 3.24 亿元，同比增长 1291.1%，实现大幅增长。 其中非经常性损益为 6.87 亿元，来源于（1）因中芯国际股价变动以及公司减持部 分中芯国际股票，公司 2021 年收益约 0.39 亿元，较 2020 年收益的 2.62 亿元减少 约 2.23 亿；公司投资的其他非上市公司股权（以公允价值计量且其变动计入当期损 益）于 2021 年产生公允价值变动收益约 3.70 亿元，较 2020 年增加约 3.70 亿元。因上述两项因素合计影响，公司 2021 年较 2020 年增加税前利润约 1.47 亿元；（2） | |||||
| 收益表现 | 公司 2021 年计入非经常性损益的政府补助较 2020 年增加约 0.95 亿元。 | ||||
| % | 1M | 3M | 1Y | ||
| 相对 | -9.43 | 10.58 | 13.62 | 分业务看，2021 年刻蚀设备收入同比增长近 56%：受益于半导体设备市场发展及 | |
| 绝对 | -9.33 | -2.08 | -2.36 | 产品竞争优势，公司 2021 年刻蚀设备收入为 20.04 亿元，较 2020 年增长约 55.44%， | |
| 资料来源：Wind | 毛利率达到 44.32%；由于下游市场原因以及本年新签署的 Mini-LED MOCVD 设备 | ||||
| 相关研报 | 规模订单尚未确认收入，2021 年 MOCVD 设备收入为 5.03 亿元，较 2020 年增长约 | ||||
| 2021 三季报点评：刻蚀设备收入翻倍，三维 立体高速发展——中微公司（688012.SH）系列跟踪报告之二（2021-10-29） 国产替代机遇打造刻蚀设备平台型龙头——中微公司（688012.SH）投资价值分析报告（2021-09-29） 21H1 中报点评：刻蚀设备收入增长超 80%，MOCVD 新设备获批量订单——中微公司 | 1.53%，但 MOCVD 设备的毛利率达到 33.77%，较 2020 年的 18.65%有大幅度提 升。 公司订单情况良好，2021 年新增订单 41.3 亿元，同比增长 90.5%，合同负债为 13.72 亿元，同比增长 53.7%：公司 2021 年新签订单金额为 41.3 亿元，较 2020 年增加 约 19.6 亿元，同比增加约 90.5%，增长速度较快；公司 2021 年合同负债为 13.72 亿元，同比增长 53.7%；公司 2021 年存货为 17.62 亿元，同比增长 6.3%。 | ||||
（688012.SH）系列跟踪报告之一
（2021-08-28）
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| 中微公司（688012.SH） |
刻蚀设备：CCP 刻蚀机市占率不断提升，ICP 刻蚀机进入放量期，ALE 设备正在 筹划开发中。
CCP 刻蚀机：公司 CCP 刻蚀设备产品保持竞争优势，Primo AD-RIE®、Primo SSC ADRIE™、Primo HD-RIE™等产品批量应用于国内外一线客户的集成电路加工制 造生产线，并持续提升市场占有率，在部分客户市场占有率已进入前三位。公司 2021 年共生产付运 CCP 刻蚀设备 298 腔，产量同比增长 40%。此外，在先进 逻辑电路方面，公司成功取得 5 纳米及以下逻辑电路产线的重复订单。在存储电 路方面，公司的刻蚀设备在 64 层及 128 层 3DNAND 的生产线得到广泛应用。随着 3DNAND 芯片制造厂产能的迅速爬升，该等产品的重复订单稳步增长。同 时，公司积极布局动态存储器的应用，并开始工艺开发及验证。公司积极与主流 客户合作，定义下一代 CCP 刻蚀机的主要功能及技术指标，正开发更先进的 CCP 刻蚀机产品。
ICP 刻蚀机：公司 ICP 刻蚀设备已经逐步趋于成熟。Primo nanova®ICP 刻蚀产 品已经在超过 15 家客户的生产线上进行 100 多个 ICP 刻蚀工艺的验证，部分工 艺的刻蚀性能和量产指标已经满足客户的要求并投入量产，且持续扩展到更多刻 蚀应用的验证。截止到 2021 年 12 月底，Primo Nanova®已经顺利交付超过 180 台反应腔，且在客户端完成验证的应用数量也在持续增加。公司 2021 年共生产 付运 ICP 刻蚀设备 134 腔，产量同比增长 235%。
此外，公司 ALE（原子层刻蚀）先进关键设备正在筹划开发中。
MOCVD 设备：Mini -LED 用 MOCVD 设备已收到批量订单，第三代半导体及 Micro-LED 用 MOCVD 设备稳步推进。公司蓝光照明 Prismo A7®以及深紫外 LED 外延片 Prismo HiT3®产品持续服务客户。公司在 2021 年 6 月正式发布了用于 高性能 Mini-LED 量产的 MOCVD 设备 Prismo UniMax®，半年内即已收到来自 国内多家领先客户的批量订单合计超过 100 腔，并且不断收到更多的订单。公 司还积极布局用于功率器件应用的第三代半导体设备，启动了应用于制造功率器 件、Micro-LED 等生产的 MOCVD 设备的开发，其中开发 GaN 功率器件量产应 用的 MOCVD 设备目前已交付国内外领先客户进行生产验证，此外，公司启动了 应用于碳化硅功率器件外延生产设备的开发，将进一步丰富公司的产品线，进一 步稳固、提升公司在 MOCVD 产品上的领先市场地位。
薄膜沉积设备：钨填充 CVD 获得阶段性成果，CVD、ALD 和 EPI 设备开发进展 良好。公司的钨填充 CVD 设备获得了阶段性进展，已能够满足客户工艺验证的 需求，产品正与关键客户对接验证。基于金属钨 CVD 设备，公司正进一步开发 CVD 和 ALD 设备，实现更高深宽比和更小的关键尺寸结构的填充，以满足高端 逻辑器件和先进存储芯片的需求。目前公司 EPI 设备已进入样机的设计，制造和 调试阶段，以满足客户先进制程中锗硅外延生长工艺的电性和可靠性需求。
其他设备业务布局：VOC 净化设备积极推进中，增资睿励仪器布局前道检测业 务，扩展在显示、MEMS、功率器件、太阳能等泛半导体领域的关键设备。在聚 焦主业的同时，公司在外延发展方面继续积极探索。子公司中微惠创利用分子筛 的吸附原理的化学反应器，开发制造了工业用大型 VOC 净化设备，与德国 DAS 环境专家有限公司签订战略合作协议，双方将在半导体行业尾气处理设备领域展 开紧密的合作。公司于 2021Q1 完成了对睿励仪器 1 亿元的增资事项，累计持有 睿励仪器 20.45%的股份，并委派尹志尧出任睿励仪器的董事长，2022 年 3 月 拟增资 1.08 亿元，交易完成后持股比例将提升至 29.36%，布局集成电路工艺 检测设备领域，有利于拓展公司业务范围。公司计划扩展在泛半导体领域设备的 应用，布局显示、MEMS、功率器件、太阳能领域的关键设备；公司拟探索其他 新兴领域的机会，利用独特的设备及工艺技术，考虑从设备制造向器件大规模生
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产的机会，以及探索更多集成电路及泛半导体设备生产线相关环保设备及医疗健 康智能设备等领域的市场机会。
盈利预测、估值与评级：中微公司是国内刻蚀设备和 MOCVD 设备的领军企业，我们持续看好公司雄厚的内生技术实力以及外延扩展能力，考虑到 ICP 刻蚀机和 薄膜沉积设备进展迅速，上调公司 2022-2023 年的归母净利润为 10.73 亿元（上 调 40.63%）、12.72 亿元（上调 20.11%），预计 2024 年的归母净利润为 15.40 亿元，当前市值对应的 PE 值分别为 67x、56x、46x，维持“买入”评级。
风险提示：晶圆厂扩张不及预期，客户导入不及预期，技术研发不及预期。
图表 1：公司盈利预测与估值简表
| 指标 | 2020 | 2021 | 2022E | 2023E | 2024E |
| 营业收入（百万元） | 2,273 | 3,108 | 4,288 | 5,831 | 7,837 |
| 营业收入增长率 | 16.76% | 36.72% | 37.95% | 36.00% | 34.40% |
| 净利润（百万元） | 492 | 1,011 | 1,073 | 1,272 | 1,540 |
| 净利润增长率 | 161.02% | 105.49% | 6.06% | 18.61% | 21.05% |
| EPS（元） | 0.92 | 1.64 | 1.74 | 2.06 | 2.50 |
| ROE（归属母公司)（摊薄） | 11.27% | 7.26% | 7.15% | 7.81% | 8.64% |
| P/E | 126 | 71 | 67 | 56 | 46 |
| P/B | 14.2 | 5.1 | 4.8 | 4.4 | 4.0 |
资料来源：Wind，光大证券研究所预测，股价时间为 2022-04-08；2020-2021 年的股本分别为 5.35/6.16 亿股；
图表 2：公司 2021 年研发投入情况
资料来源：公司公告、光大证券研究所整理；
图表 3：公司 2021 年主要控股参股公司经营情况
资料来源：公司公告、光大证券研究所整理；
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| 中微公司（688012.SH） |
1.公司部分季度财务指标
图表 4：中微公司近两年单季营收、归母净利润及成本情况
图表 5：中微公司近两年单季毛利率及净利率情况
资料来源：wind、光大证券研究所； 资料来源：wind、光大证券研究所；
图表 6：中微公司近两年合同负债情况
图表 7：中微公司近两年存货情况
资料来源：wind、光大证券研究所； 资料来源：wind、光大证券研究所；
图表 8：中微公司近两年存货周转率情况
图表 9：中微公司近两年应付账款周转率情况
| 资料来源：wind、光大证券研究所； | 资料来源：wind、光大证券研究所； | |
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财务报表与盈利预测
| 利润表（百万元） | 2020 | 2021 | 2022E | 2023E | 2024E | 资产负债表（百万元） | 2020 | 2021 | 2022E | 2023E | 2024E |
| 营业收入 | 2,273 | 3,108 | 4,288 | 5,831 | 7,837 | 总资产 | 5,801 | 16,733 | 18,937 | 20,126 | 23,935 |
| 营业成本 | 1,417 | 1,761 | 2,427 | 3,290 | 4,410 | 货币资金 | 1,132 | 8,659 | 11,362 | 11,212 | 14,107 |
| 折旧和摊销 | 78 | 94 | 97 | 117 | 137 | 交易性金融资产 | 1,505 | 2,511 | 2,500 | 2,500 | 2,500 |
| 税金及附加 | 2 | 19 | 21 | 29 | 39 | 应收账款 | 279 | 509 | 611 | 812 | 1,064 |
| 销售费用 | 237 | 296 | 386 | 525 | 705 | 应收票据 | 105 | 96 | 86 | 117 | 157 |
| 管理费用 | 153 | 203 | 257 | 350 | 470 | 其他应收款（合计） | 33 | 18 | 21 | 29 | 39 |
| 研发费用 | 331 | 398 | 557 | 758 | 1,019 | 存货 | 1,064 | 1,762 | 1,649 | 2,572 | 3,017 |
| 财务费用 | -7 | -71 | -8 | -5 | 0 | 其他流动资产 | 71 | 129 | 176 | 230 | 291 |
| 投资收益 | 27 | 143 | 100 | 100 | 100 | 流动资产合计 | 4,198 | 13,731 | 16,430 | 17,505 | 21,218 |
| 营业利润 | 515 | 1,133 | 1,193 | 1,415 | 1,712 | 其他权益工具 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 |
| 利润总额 | 513 | 1,133 | 1,192 | 1,414 | 1,711 | 长期股权投资 | 424 | 555 | 565 | 565 | 565 |
| 所得税 | 20 | 122 | 119 | 141 | 171 | 固定资产 | 183 | 218 | 363 | 484 | 583 |
| 净利润 | 492 | 1,011 | 1,073 | 1,272 | 1,540 | 在建工程 | 14 | 407 | 395 | 387 | 380 |
| 少数股东损益 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | 无形资产 | 289 | 573 | 573 | 574 | 575 |
| 归属母公司净利润 | 492 | 1,011 | 1,073 | 1,272 | 1,540 | 商誉 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 |
| EPS(元) | 0.92 | 1.64 | 1.74 | 2.06 | 2.50 | 其他非流动资产 | 144 | 149 | 149 | 149 | 149 |
| 非流动资产合计 | 1,603 | 3,002 | 2,507 | 2,621 | 2,716 | ||||||
| 现金流量表（百万元） | 2020 | 2021 | 2022E | 2023E | 2024E | 总负债 | 1,432 | 2,793 | 3,924 | 3,840 | 6,109 |
| 经营活动现金流 | 846 | 1,016 | 1,168 | 709 | 1,850 | 短期借款 | 0 | 0 | 886 | 0 | 1,138 |
| 净利润 | 492 | 1,011 | 1,073 | 1,272 | 1,540 | 应付账款 | 422 | 735 | 728 | 987 | 1,323 |
| 折旧摊销 | 78 | 94 | 97 | 117 | 137 | 应付票据 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 |
| 净营运资金增加 | 555 | 1,860 | 2,856 | 141 | 2,717 | 预收账款 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 |
| 其他 | -279 | -1,949 | -2,858 | -821 | -2,544 | 其他流动负债 | 47 | 42 | 43 | 45 | 47 |
| 投资活动产生现金流 | -537 | -6,230 | 653 | 20 | -95 | 流动负债合计 | 1,233 | 2,571 | 3,748 | 3,663 | 5,930 |
| 净资本支出 | -252 | -496 | -208 | -230 | -230 | 长期借款 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 |
| 长期投资变化 | 424 | 555 | 0 | 0 | 0 | 应付债券 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 |
| 其他资产变化 | -709 | -6,289 | 861 | 250 | 135 | 其他非流动负债 | 193 | 165 | 166 | 167 | 169 |
| 融资活动现金流 | 1 | 8,286 | 883 | -879 | 1,140 | 非流动负债合计 | 199 | 222 | 176 | 177 | 179 |
| 股本变化 | 0 | 81 | 0 | 0 | 0 | 股东权益 | 4,369 | 13,940 | 15,013 | 16,285 | 17,825 |
| 债务净变化 | 0 | 12 | 874 | -886 | 1,138 | 股本 | 535 | 616 | 616 | 616 | 616 |
| 无息负债变化 | 409 | 1,349 | 257 | 803 | 1,131 | 公积金 | 3,889 | 12,446 | 12,554 | 12,596 | 12,596 |
| 净现金流 | 285 | 3,058 | 2,704 | -150 | 2,895 | 未分配利润 | -33 | 890 | 1,855 | 3,085 | 4,625 |
| 归属母公司权益 | 4,369 | 13,940 | 15,013 | 16,285 | 17,825 | ||||||
| 少数股东权益 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 |
主要指标
| 盈利能力（%） | 2020 | 2021 | 2022E | 2023E | 2024E | 费用率 | 2020 | 2021 | 2022E | 2023E | 2024E |
| 毛利率 | 37.7% | 43.4% | 43.4% | 43.6% | 43.7% | 销售费用率 | 10.41% | 9.53% | 9.00% | 9.00% | 9.00% |
| EBITDA 率 | 15.5% | 22.9% | 21.9% | 22.3% | 22.1% | 管理费用率 | 6.73% | 6.52% | 6.00% | 6.00% | 6.00% |
| EBIT 率 | 11.8% | 19.8% | 19.6% | 20.3% | 20.4% | 财务费用率 | -0.33% | -2.28% | -0.19% | -0.09% | -0.01% |
| 税前净利润率 | 22.6% | 36.4% | 27.8% | 24.2% | 21.8% | 研发费用率 | 14.55% 12.79% 13.00% 13.00% 13.00% | ||||
| 归母净利润率 | 21.7% | 32.5% | 25.0% | 21.8% | 19.7% | 所得税率 | 4% | 11% | 10% | 10% | 10% |
| ROA | 8.5% | 6.0% | 5.7% | 6.3% | 6.4% | ||||||
| ROE（摊薄） | 11.3% | 7.3% | 7.1% | 7.8% | 8.6% |
| 经营性 ROIC | 3.5% | 5.9% | 5.9% | 8.3% | 9.2% |
| 每股指标 | 2020 | 2021 | 2022E | 2023E | 2024E |
| 每股红利 | 0.00 | 0.00 | 0.00 | 0.00 | 0.00 |
| 2020 | 2021 | 每股经营现金流 | 1.58 | 1.65 | 1.89 | 1.15 | 3.00 | ||||
| 偿债能力 | 2022E | 2023E | 2024E | 每股净资产 | 8.17 | 22.62 | 24.36 | 26.43 | 28.93 | ||
| 资产负债率 | 25% | 17% | 21% | 19% | 26% | 每股销售收入 | 4.25 | 5.04 | 6.96 | 9.46 | 12.72 |
| 流动比率 | 3.41 | 5.34 | 4.38 | 4.78 | 3.58 | 2023E | 2024E | ||||
| 速动比率 | 2.54 | 4.65 | 3.94 | 4.08 | 3.07 | 估值指标 | 2020 | 2021 | 2022E | ||
| 归母权益/有息债务 | - 1139.27 | 16.94 | - | 15.67 | PE | 126 | 71 | 67 | 56 | 46 | |
| 有形资产/有息债务 | - 1299.76 | 20.46 | - | 20.33 | PB | 14.2 | 5.1 | 4.8 | 4.4 | 4.0 | |
| 资料来源：Wind，光大证券研究所预测 | EV/EBITDA | 188.1 | 95.9 | 74.0 | 52.7 | 40.2 | |||||
| 股息率 | 0.0% | 0.0% | 0.0% | 0.0% | 0.0% | ||||||
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行业及公司评级体系
| 评级 | 说明 | |
| 行 | 买入 | 未来 6-12 个月的投资收益率领先市场基准指数 15%以上 |
| 业 | 增持 | 未来 6-12 个月的投资收益率领先市场基准指数 5%至 15%； |
| 及 | 中性 | 未来 6-12 个月的投资收益率与市场基准指数的变动幅度相差-5%至 5%； |
| 公 | ||
| 减持 | 未来 6-12 个月的投资收益率落后市场基准指数 5%至 15%； | |
| 司 | ||
| 评 | 卖出 | 未来 6-12 个月的投资收益率落后市场基准指数 15%以上； |
| 级 | 无评级 | 因无法获取必要的资料，或者公司面临无法预见结果的重大不确定性事件，或者其他原因，致使无法给出明确的投资评级。 |
| 基准指数说明： | A 股主板基准为沪深 300 指数；中小盘基准为中小板指；创业板基准为创业板指；新三板基准为新三板指数；港股基准指数为恒生 | |
| 指数。 |
分析、估值方法的局限性说明
本报告所包含的分析基于各种假设，不同假设可能导致分析结果出现重大不同。本报告采用的各种估值方法及模型均有其局限性，估值结果不保 证所涉及证券能够在该价格交易。
分析师声明
本报告署名分析师具有中国证券业协会授予的证券投资咨询执业资格并注册为证券分析师，以勤勉的职业态度、专业审慎的研究方法，使用合法 合规的信息，独立、客观地出具本报告，并对本报告的内容和观点负责。负责准备以及撰写本报告的所有研究人员在此保证，本研究报告中任何关于 发行商或证券所发表的观点均如实反映研究人员的个人观点。研究人员获取报酬的评判因素包括研究的质量和准确性、客户反馈、竞争性因素以及光 大证券股份有限公司的整体收益。所有研究人员保证他们报酬的任何一部分不曾与，不与，也将不会与本报告中具体的推荐意见或观点有直接或间接 的联系。
法律主体声明
本报告由光大证券股份有限公司制作，光大证券股份有限公司具有中国证监会许可的证券投资咨询业务资格，负责本报告在中华人民共和国境内（仅为本报告目的，不包括港澳台）的分销。本报告署名分析师所持中国证券业协会授予的证券投资咨询执业资格编号已披露在报告首页。
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特别声明
光大证券股份有限公司（以下简称“本公司”）创建于 1996 年，系由中国光大（集团）总公司投资控股的全国性综合类股份制证券公司，是中 国证监会批准的首批三家创新试点公司之一。根据中国证监会核发的经营证券期货业务许可，本公司的经营范围包括证券投资咨询业务。
本公司经营范围：证券经纪；证券投资咨询；与证券交易、证券投资活动有关的财务顾问；证券承销与保荐；证券自营；为期货公司提供中间介 绍业务；证券投资基金代销；融资融券业务；中国证监会批准的其他业务。此外，本公司还通过全资或控股子公司开展资产管理、直接投资、期货、基金管理以及香港证券业务。
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不同时期，本公司可能会撰写并发布与本报告所载信息、建议及预测不一致的报告。本公司的销售人员、交易人员和其他专业人员可能会向客户 提供与本报告中观点不同的口头或书面评论或交易策略。本公司的资产管理子公司、自营部门以及其他投资业务板块可能会独立做出与本报告的意见 或建议不相一致的投资决策。本公司提醒投资者注意并理解投资证券及投资产品存在的风险，在做出投资决策前，建议投资者务必向专业人士咨询并 谨慎抉择。
在法律允许的情况下，本公司及其附属机构可能持有报告中提及的公司所发行证券的头寸并进行交易，也可能为这些公司提供或正在争取提供投 资银行、财务顾问或金融产品等相关服务。投资者应当充分考虑本公司及本公司附属机构就报告内容可能存在的利益冲突，勿将本报告作为投资决策 的唯一信赖依据。
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