芯源微评级（买入）半导体设备系列报告：2021 年业绩大幅增长，前道产品快速放量驱动公司持续高增
股票代码 ：688037
股票简称 ：芯源微
报告名称 ：半导体设备系列报告：2021 年业绩大幅增长，前道产品快速放量驱动公司持续高增
评级 ：买入
行业：半导体
| 证券研究报告·A 股公司简评 | 专用设备行业 |
2021 年业绩大幅增长，前道产品快速放量
驱动公司持续高增 —半导体设备系列报告
| 芯源微(688037) |
| 事件 | 维持 | 买入 |
公司 2021 年实现营收 8.3 亿元，同比+152.0%，归母净利 0.8 亿元，同比+58.4%，扣非归母 0.6 亿元，同比+395.8%；其中 Q4 单季度营收 2.8 亿元，同比+140.6%，归母净利 0.24 亿元，同比+481.9%，扣非归母 0.18 亿元，同比扭亏。
简评
2021 年业绩大幅增长，在手订单饱满为 2022 年高增打下基础
吕娟
lyujuan@csc.com.cn
021-68821610
SAC 执证编号：S1440519080001 SFC 中央编号：BOU764
发布日期：2022 年 03 月 10 日
当前股价： 160.64 元
目标价格 6 个月： 246.85 元
| ①行业景气延续+新产品持续推广，业绩大幅增长。公司 2021 年 营业收入同比增长 151.95%，归母净利润同比增长 58.41%，扣非 归母净利润同比增长 395.83%，实现大幅增长。业绩高增主要系 半导体行业景气度持续向好，公司新产品推广顺利，公司主打产 品光刻工序涂胶显影设备和单片式湿法设备分别实现销售 158 台、65 台，同比分别增长 102.45%、225.00%。 ②前道产品放量+供应链紧张拉低毛利率，静待修复。公司 2021 年毛利率为 38.08%，同比下降 5.52pct，主要有以下两点原因：首先，公司产品销售结构发生变化，前道产品收入占比提高，而 前道产品仍处于市场开拓期，毛利率较低；其次，供应链紧张导 致零部件成本有所上升。未来随着产品成熟度提高+技术升级，以及零部件国产替代的不断推进，公司毛利率将恢复稳态。 ③研发持续加码，产品竞争力不断提升。公司 2021 年研发投入 0.92 亿元，同比增长 103.68%。公司高度重视研发，持续加码，产品方面，打入前道领域，不断升级前道涂胶显影设备技术指标， | 主要数据 股票价格绝对/相对市场表现（%） | ||
| 1 个月 | 3 个月 | 12 个月 | |
| 18.99/23.6 | -25.58/-16.12 | 85.16/88.9 | |
| 12 月最高/最低价（元） | 302.35/75.5 | ||
| 总股本（万股） | 8,415.6 | ||
| 流通 A 股（万股） | 4,481.08 | ||
| 总市值（亿元） | 135.19 | ||
| 流通市值（亿元） | 71.98 | ||
| 近 3 月日均成交量（万股） | 155.85 | ||
| 主要股东 | |||
| 沈阳先进制造技术产业有限公司 | 17.06% | ||
| 股价表现 293% 193% | |||
加速推进前道化学清洗设备，为长期发展构筑核心竞争力；供应
| 链方面，自主研发和联合研发并举，不断推进关键零部件国产化。 | 93% |
-7%
| ④在手订单饱满，新签订单保持增长，未来业绩有所保障。截至 | 2021/3/9 | 2021/4/9 | 2021/5/9 | 2021/6/9 | 2021/7/9 | 2021/8/9 | 2021/9/9 | 2021/10/9 | 2021/11/9 | 2021/12/9 | 2022/1/9 | 2022/2/9 |
| 2021 年底，公司合同负债总额为 3.53 亿元，较 2020 年末 1.32 亿 | ||||||||||||
| 芯源微 | 上证指数 | |||||||||||
| 元增长 166.43%，公司存货为 9.32 亿元，较 2020 年末 4.02 亿元 | ||||||||||||
增长 131.73%。二者均反映出公司新签订单快速增长。结构上，公司新签订单中前道涂胶显影、清洗设备占比不断提升，未来有 望达到 50%，为未来业绩高增长打下良好基础。
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| 芯源微 |
A 股公司简评报告
前道产品验证持续推进，后道产品开拓大陆地区以外客户
①前道产品：验证持续推进，不断打开市场空间。公司前道产品包括前道涂胶显影设备、Spin Scrubber 清洗设
备两大类。前道涂胶设备领域，公司为国内唯一可提供高端光刻涂胶显影设备厂商，卡位优势突出。前道工艺
中，公司已完成 28nm off-line 工艺全验证，in-line 工艺可实现和 ASML、Cannon、Nikon 等多种主流光刻机联 机运行，其中 I-line、KrF 已开始批量接单，浸没式产品在实验线验证达到量产要求，今年年底有望完成所有验 证。前道涂胶显影设备均价在千万级以上，尤其是 In-line 工艺机台单价更是在 2000 万元以上，产品验证放量后 将为公司贡献更高的业绩增长。前道清洗设备领域，公司单片式清洗设备 Spin Scrubber 可覆盖至 28nm 制程，已达国际领先水平，2021 年获得中芯国际、上海华力、武汉新芯、厦门士兰集科、扬杰科技、青岛芯恩、上海 积塔等国内多家 Fab 厂的批量重复订单，成功实现进口替代。另外，公司积极推进单片化学清洗设备的研发工 作，化学清洗设备则占到半导体清洗设备市场 90%份额，新产品研发将为公司打开更大市场空间。
②后道产品：化合物等小尺寸领域增长显著，持续开拓大陆地区以外新客户。公司在后道领域深耕多年，优势
显著，随着 4-6 英寸化合物半导体市场快速崛起，公司凭借优质的产品和口碑，2021 年化合物等小尺寸领域收 入同比增长近 300%。客户端，公司已建立起行业知名度，客户包括台积电、长电科技、华天科技、通富微电、晶方科技、华灿光电等多家一线大厂，并保持长期稳定合作关系，2021 年新开拓日月光、矽品科技、盛合晶微
等封装客户，未来将积极拓展大陆地区以外市场。
投资建议
从行业维度看，公司作为国内高端涂胶显影唯一供应商，充分受益晶圆投资高景气+国产浪潮。从公司维度看，一方面，公司基于原有产品基础，继续向涂胶显影中的 ArFi 机台、清洗设备中的化学湿法清洗积极拓展，不断 打开更大市场空间；另一方面，公司前道涂胶显影、Spin Scrubber 清洗设备在头部客户中取得不同程度进展，为其放量打下基础。预计公司 2022-2024 年收入分别为 13.18、16.96、22.06 亿元，归母净利润分别为 1.50、2.02、2.97 亿元，同比分别增长 93.6%、34.9%、46.8%，对应 PE 分别为 90.3x、66.9x、45.6x，维持“买入”评级。
重要财务指标
| 营业收入(百万元) | 2020 | 2021 | 2022E | 2023E | 2024E |
| 329 | 829 | 1,318 | 1,696 | 2,206 | |
| 增长率(%) | 54.3 | 152.0 | 59.0 | 28.7 | 30.0 |
| 净利润(百万元) | 49 | 77 | 150 | 202 | 297 |
| 增长率(%) | 66.8 | 58.4 | 93.6 | 34.9 | 46.8 |
| ROE(%) | 6.1 | 8.6 | 14.7 | 16.7 | 19.9 |
| EPS(元/股，摊薄) | 0.58 | 0.92 | 1.78 | 2.40 | 3.52 |
| P/E(倍) | 276.3 | 174.8 | 90.3 | 66.9 | 45.6 |
| P/B(倍) | 16.9 | 15.2 | 13.4 | 11.3 | 9.1 |
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1
| 芯源微 |
A 股公司简评报告
风险提示
供应链持续紧张：公司部分核心零部件来自海外供应商，若疫情等导致供应链交期延长或影响未来产品交付。
贸易摩擦加剧：中美等贸易摩擦可能会对公司海外客户拓展产生不利影响。
新产品验证不及预期：公司仍有多款产品在客户端验证，若验证进度不及预期则会影响后续重复订单。
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2
| 芯源微 |
A 股公司简评报告
| 分析师介绍 | 吕娟：董事总经理，上海区域总监，高端制造组组长&首席分析师，机械行业首席分 析师。复旦大学经济学硕士，法国 EDHEC 商学院金融工程交换生，河海大学机械工 |
程及自动化学士，2007.07-2016.12 曾就职于国泰君安证券研究所任机械首席分析师，2017.01-2019.07 曾就职于方正证券研究所任董事总经理、副所长、机械首席分析师。
曾获新财富、金牛、 IAMAC、水晶球、第一财经、 WIND 最佳分析师第一名。
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3
| 芯源微 |
A 股公司简评报告
评级说明
| 投资评级标准 | 评级 | 说明 | |
| 报告中投资建议涉及的评级标准为报告发布日后 6 个月内的相对市场表现，也即报告发布日后的 6 个 月内公司股价（或行业指数）相对同期相关证券市 场代表性指数的涨跌幅作为基准。A 股市场以沪深 300 指数作为基准；新三板市场以三板成指为基准； 香港市场以恒生指数作为基准；美国市场以标普 500 指数为基准。 | 股票评级 | 买入 | 相对涨幅 15％以上 |
| 增持 | 相对涨幅 5%—15％ | ||
| 中性 | 相对涨幅-5%—5％之间 | ||
| 减持 | 相对跌幅 5%—15％ | ||
| 卖出 | 相对跌幅 15％以上 | ||
| 行业评级 | 强于大市 | 相对涨幅 10%以上 | |
| 中性 | 相对涨幅-10-10%之间 | ||
| 弱于大市 | 相对跌幅 10%以上 |
分析师声明
本报告署名分析师在此声明：（i）以勤勉的职业态度、专业审慎的研究方法，使用合法合规的信息，独立、客观地出具本报告, 结论不 受任何第三方的授意或影响。（ii）本人不曾因，不因，也将不会因本报告中的具体推荐意见或观点而直接或间接收到任何形式的补偿。
法律主体说明
本报告由中信建投证券股份有限公司及/或其附属机构（以下合称“中信建投”）制作，由中信建投证券股份有限公司在中华人民共和 国（仅为本报告目的，不包括香港、澳门、台湾）提供。中信建投证券股份有限公司具有中国证监会许可的投资咨询业务资格，本报告署 名分析师所持中国证券业协会授予的证券投资咨询执业资格证书编号已披露在报告首页。
本报告由中信建投（国际）证券有限公司在香港提供。本报告作者所持香港证监会牌照的中央编号已披露在报告首页。
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