至纯科技评级年报点评：半导体设备高速增长，晶圆再生业务有
股票代码 ：603690
股票简称 ：至纯科技
报告名称 ：年报点评：半导体设备高速增长，晶圆再生业务有
评级 ：增持
行业：专用设备
专用机械
分析师：刘智
登记编码：S0730520110001
liuzhi@ccnew.com 021-50586775
半导体设备高速增长，晶圆再生业务有 望发力
——至纯科技(603690)年报点评
| 证券研究报告-年报点评 | 增持(首次) | |||
| 市场数据(2022-05-25) | 发布日期：2022 年 05 月 26 日 | |||
| 收盘价(元) | 35.93 | 投资要点： 公司 2021 年实现营业收入 20.84 亿元，同比增长 49.2%；实现归母净利润 2.82 亿元，同比增长 8.1%；每股收益为 0.89 元。 2022 年一季度公司实现营业总收入 5.48 亿元，同比增长 137%；归母净利 | ||
| 一年内最高/最低(元) | 69.13/27.18 | |||
| 沪深 300 指数 | 3,983.18 | |||
| 市净率(倍) | 2.80 | |||
| 流通市值(亿元) | 114.13 | |||
| 基础数据(2022-03-31) | 润 2189 万元，同比下降 70.8%。 | |||
| 每股净资产(元) | 12.85 | ⚫ | 半导体设备高速增长，泛半导体业务布局初见成效 | |
| 每股经营现金流(元) | -0.73 | |||
| 2021 年公司实现营业收入 20.84 亿元，同比增长 49.2%，实现归母净利润 2.88 亿，同比增长 8.1%，扣非归母净利润 1.62 亿，同比增长 46.57%。 2021 年公司高纯工艺系统集成营业收入 10.78 亿元，同比增长 24.86%，占 主营业务收入比例约 50%；半导体清洗设备营业收入 7.01 亿元，同比增长 222.06%，占主营业收入比例为 33.64%；光电子营业收入 3.03 亿，同比下 | ||||
| 毛利率(%) | 35.22 | |||
| 净资产收益率_摊薄(%) | 0.54 | |||
| 资产负债率(%) | 45.68 | |||
| 总股本/流通股(万股) | 31,850.05/31,764.35 | |||
| B 股/H 股(万股) | 0.00/0.00 | |||
| 个股相对沪深 300 指数表现 | 滑 3.72%。 | |||
| 至纯科技 | 沪深300 |
| 117% -29% 34% 13%-8% 96% 75% 54% 2021.05 2021.09 2022.01 2022.05 | |
资料来源：聚源数据、中原证券
2021 年公司核心业务是泛半导体业务，其中高纯工艺系统集成是公司起家 的核心业务，近年维持稳健快速增长。半导体设备是公司近年大力投入拓 展的核心业务，2021 年半导体设备业务营业收入 7.01 亿，同比增长 222.06%，增长强劲，在手订单饱满，未来仍有望成为公司核心增长点。公 司通过可转债和定增切入半导体清洗的下游晶圆再生业务，今年预计将开 始发力贡献收入，未来有望成为第二增长点。公司通过多年布局，泛半导 体业务涉及半导体产业多个环节，已经初见成效。
| 相关报告 | ⚫ | 公司泛半导体业务毛利率小幅上升 |
2021 年度公司整体销售毛利率 36.19%，同比下滑 0.6pct，主要原因是产 品结构变化造成的，公司半导体设备业务增长快，毛利率相对较低，仍处 于业务开拓和量产阶段，其次是高毛利率的光电子业务增速不佳。
| 联系人：马钦琦 | 2021 年公司整体净利率 13.64%，同比下降近 5 个 pct。 11693 2021 年公司加权 ROE 为 8.1%，比去年下滑近 8pct。公司加权 ROE 下滑较 多主要原因是因为公司净资产快速增长，因为去年有较大的公允价值变动 受益导致 2021 年归母净利润增速不高，拖累了加权 ROE 水平。 | |
| 电话： | 021-50586973 | |
| 地址： | 上海浦东新区世纪大道1788 号16 楼 | |
| 邮编： | 200122 | |
公司高纯工艺系统集成毛利率 34.71%，同比上市 2.95pct,半导体设备毛利 率 32.48%，同比提升 2.63pct，泛半导体业务毛利率均小幅上升 2 个 pct 以上。光电子业务毛利率 50.43%，下滑 4.92pct。
⚫在手订单高速增长，半导体设备已获 14nm 订单，订单饱满
公司半导体设备业务高速发展，持续在已有用户端得到重复订单，并持
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续开拓新用户。2021 年，公司拿到 13 位用户的重复订单，期间又开拓 了 10 位新用户，均为行业内主要的晶圆制造企业。
公司湿法设备已经在数个成熟工艺的产线上拿到了整条线的设备订单，有效替代了之前的两家日本厂商；公司还在氮化镓和碳化硅产线上拿到 了整条线的湿法设备订单；公司在先进制程的 28 纳米节点获得全部工 艺的设备订单；在 14 纳米以下制程也拿到了 4 台湿法设备订单。2021 年度是公司布局湿法设备以来取得一系列高速增长的年份，是前几年耕 耘的华实之始。2021 年公司的单片湿法设备和槽式湿法设备全年出机 超过了 97 台。 同时 12 英寸湿法设备新增订单金额超过 6 亿元，其中 单片式湿法设备新增订单金额超过 3.8 亿元。2021 年，公司子公司至微 科技成功引入大基金二期、中芯聚源等战略投资者，助力业务加速发展。
2021 年度公司新增订单总额为 32.30 亿元，同比增长 64.80%，其中半导体 设备新增订单 11.20 亿元，同比增长 111.32%。
公司一季报披露 2022 年 1-4 月公司新增订单 18.02 亿元，其中半导体 湿法设备新增订单 6.31 亿元
公司半导体设备订单非常饱满，助力公司业绩增长无忧。
⚫晶圆再生业务有望达产，开始贡献第三增长点
公司在合肥布局晶圆再生及部件清洗项目，目前已通线试产，是国内首条 投产的 12 英寸晶圆再生产线，部件清洗项目为国内首条设立完整的阳极产 线。
合肥的工厂同时配置了为用户做湿法的工艺验证和工艺开发的联合实验 室，测试设备完全对标晶圆厂，为工艺开发打好了基础。该项目采用 Fab 等级机台与环境, 流程均依照 Fab 高标准执行, 质量有保证，能够做到 工艺移除量低, 对晶圆损伤小, 可以延长寿命。其优势在运输费用低, 不 需出口报关，快捷方便, 客户不用积压大量晶圆及零部件，提高周转率。该项目以 14 纳米晶圆厂需求为设计基础，将服务于中国半导体高阶市场。
该产线年产 168 万片晶圆再生和 120 万件半导体零部件再生产能。
晶圆再生业务是公司从设备到材料端的重要布局，也是公司半导体业务的 重要组成，晶圆再生业务开始达产，有望成为公司第三增长点。
⚫盈利预测与估值
鉴于公司扎根泛半导体业务多年，在高纯工艺系统集成优势明显，半导体 清洗设备多次获一线新老客户复购和认可，订单饱满业绩释放在即，另外，公司募投项目晶圆再生业务有望发力，成为第三增长点。我们预测公司 2022 年-2024 年营业收入分别为 30.34 亿、39.97 亿、49.27 亿，归母净利 润分别为 3.91 亿、5.25 亿、6.57 亿，对应的 PE 分别为 29.05X、21.68X、17.3X，首次覆盖，给予“增持”评级。
风险提示：1：宏观经济不及预期；2：下游行业需求不及预期；3：原
| 材料价格上涨，毛利率 下滑；4：晶圆再生业务拓展不及预期。 |
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| 2020A | 2021A | 2022E | 2023E | 2024E | |
| 营业收入（百万元） | 1397 | 2084 | 3034 | 3997 | 4927 |
| 增长比率（%） | |||||
| 41.63% | 49.18% | 45.59% | 31.73% | 23.26% | |
| 净利润（百万元） | |||||
| 261 | 282 | 391 | 525 | 657 | |
| 增长比率（%） | |||||
| 136.36% | 8.12% | 38.91% | 34.02% | 25.26% | |
| 每股收益(元) | |||||
| 1.01 | 0.89 | 1.23 | 1.65 | 2.06 | |
| 市盈率(倍) | 38.82 | 54.04 | 29.05 | 21.68 | 17.30 |
资料来源：聚源数据、中原证券
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图 1：公司营业收入（百万元）
20
2017A 2018A 2019A 2020A 2021A 2022Q1 | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
资料来源：wind、中原证券
图 3：公司盈利能力指标
图 2：公司归母净利润（百万元）
200
| |||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
资料来源：wind、中原证券
图 4：公司经营现金净流量（百万元）
| 45 | ROE(加权)(%) | 毛利率(%) | 净利率(%) | 400 | 2022Q1 | ||||||||||||||
| 归母净利润 | 经营活动现金净流量 | ||||||||||||||||||
| 40 | 39.02 | 300 | |||||||||||||||||
| 200 | |||||||||||||||||||
| 35 | 34.35 | 36.19 35.22 | |||||||||||||||||
| 30 | 28.19 | 36.79 | 100 | ||||||||||||||||
| 25 | 0 | ||||||||||||||||||
| 20 | 18.66 | 2017A | 2018A | 2019A | 2020A | 2021A | |||||||||||||
| -100 | |||||||||||||||||||
| 15 | 13.27 12.89 | 7.71 | 11.19 10.10 | 16.03 | 13.64 | ||||||||||||||
| -200 | |||||||||||||||||||
| 10 | 8.10 | -300 | |||||||||||||||||
| 5 | 4.67 | 5.28 | -400 | ||||||||||||||||
| 0 | 0.54 | 资料来源：wind、中原证券 | |||||||||||||||||
| 2017A | 2018A | 2019A | 2020A | 2021A | 2022Q1 | ||||||||||||||
| 资料来源：wind、中原证券 | |||||||||||||||||||
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图 5：分产品营业收入结构（百万元）
2,500
314.66
81.66
369.08 | ||||||||||||||||||||||||||||||||
0
| ||||||||||||||||||||||||||||||||
图 6：分产品毛利率（%）
45
| ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 资料来源：wind、中原证券 | 资料来源：wind、中原证券 |
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财务报表预测和估值数据汇总
| 资产负债表（百万元） | 利润表（百万元） | ||||||||||
| 会计年度 | 2020A | 2021A | 2022E | 2023E | 2024E | 会计年度 | 2020A | 2021A | 2022E | 2023E | 2024E |
| 流动资产 | 3751 | 4766 | 4147 | 4964 | 5763 | 营业收入 | 1397 | 2084 | 3034 | 3997 | 4927 |
| 现金 | 1503 | 1519 | 5 | 5 | 5 | 营业成本 | 883 | 1330 | 1961 | 2588 | 3187 |
| 应收票据及应收账款 | 995 | 1219 | 1692 | 2006 | 2335 | 营业税金及附加 | 10 | 10 | 18 | 23 | 27 |
| 其他应收款 | 61 | 104 | 134 | 183 | 230 | 营业费用 | 54 | 74 | 115 | 148 | 177 |
| 预付账款 | 199 | 483 | 510 | 569 | 637 | 管理费用 | 138 | 199 | 303 | 400 | 493 |
| 存货 | 794 | 1183 | 1504 | 1843 | 2183 | 研发费用 | 96 | 144 | 212 | 280 | 345 |
| 其他流动资产 | 200 | 258 | 302 | 357 | 373 | 财务费用 | 76 | 79 | 0 | 0 | 0 |
| 非流动资产 | 2205 | 3167 | 3759 | 4368 | 4973 | 资产减值损失 | -4 | -12 | 0 | 0 | 0 |
| 长期投资 | 231 | 206 | 240 | 284 | 302 | 其他收益 | 13 | 81 | 91 | 120 | 148 |
| 固定资产 | 530 | 975 | 1159 | 1336 | 1530 | 公允价值变动收益 | 150 | 65 | 0 | 0 | 0 |
| 无形资产 | 124 | 173 | 226 | 257 | 301 | 投资净收益 | 22 | 51 | 61 | 80 | 103 |
| 其他非流动资产 | 1320 | 1813 | 2134 | 2490 | 2839 | 资产处置收益 | 0 | 0 | -55 | -60 | -74 |
| 资产总计 | 5957 | 7933 | 7906 | 9331 | 10735 | 营业利润 | 297 | 371 | 521 | 698 | 875 |
| 流动负债 | 1810 | 2761 | 2339 | 3234 | 3975 | 营业外收入 | 3 | 4 | 0 | 0 | 0 |
| 短期借款 | 959 | 1283 | 312 | 858 | 1090 | 营业外支出 | 1 | 1 | 0 | 0 | 0 |
| 应付票据及应付账款 | 373 | 538 | 800 | 977 | 1149 | 利润总额 | 298 | 375 | 521 | 698 | 875 |
| 其他流动负债 | 478 | 940 | 1227 | 1399 | 1736 | 所得税 | 37 | 90 | 126 | 169 | 211 |
| 非流动负债 | 986 | 881 | 881 | 881 | 881 | 净利润 | 261 | 284 | 395 | 530 | 664 |
| 长期借款 | 588 | 649 | 649 | 649 | 649 | 少数股东损益 | 0 | 2 | 4 | 5 | 7 |
| 其他非流动负债 | 398 | 232 | 232 | 232 | 232 | 归属母公司净利润 | 261 | 282 | 391 | 525 | 657 |
| 负债合计 | 2796 | 3643 | 3220 | 4116 | 4856 | EBITDA | 250 | 416 | 570 | 725 | 899 |
| 少数股东权益 | 18 | 224 | 228 | 233 | 240 | EPS（元） | 1.01 | 0.89 | 1.23 | 1.65 | 2.06 |
| 股本 | 308 | 319 | 319 | 319 | 319 | 主要财务比率 | |||||
| 资本公积 | 2246 | 3014 | 3014 | 3014 | 3014 | ||||||
| 留存收益 | 524 | 747 | 1139 | 1663 | 2320 | 会计年度 | 2020A | 2021A | 2022E | 2023E | 2024E |
| 归属母公司股东权益 | 3143 | 4066 | 4458 | 4982 | 5639 | 成长能力 | 41.63% | 49.18% | 45.59% | 31.73% | 23.26% |
| 负债和股东权益 | 5957 | 7933 | 7906 | 9331 | 10735 | 营业收入（%） | |||||
| 营业利润（%） | 148.79% | 25.02% | 40.40% | 34.02% | 25.26% | ||||||
| 归属母公司净利润（%） | 136.36% | 8.12% | 38.91% | 34.02% | 25.26% |
获利能力
| 现金流量表（百万元） | 毛利率（%） | 36.79% | 36.19% | 35.37% | 35.26% | 35.31% | |||||
| 净利率（%） | 18.66% | 13.64% | 13.03% | 13.26% | 13.47% | ||||||
| 会计年度 | 2020A | 2021A | 2022E | 2023E | 2024E | ROE（%） | 8.29% | 6.93% | 8.78% | 10.53% | 11.65% |
| 经营活动现金流 | -281 | -191 | 187 | 210 | 545 | ROIC | 3.49% | 3.99% | 5.45% | 6.07% | 6.72% |
| 净利润 | 261 | 284 | 395 | 530 | 664 | 偿债能力 | |||||
| 46.94% | 45.92% | 40.73% | 44.11% | 45.23% | |||||||
| 折旧摊销 | 48 | 74 | 146 | 167 | 201 | 资产负债率（%） | |||||
| 财务费用 | 61 | 77 | 0 | 0 | 0 | 净负债比率（%） | 88.46% | 84.90% | 68.72% | 78.91% | 82.59% |
| 投资损失 | -22 | -51 | -61 | -80 | -103 | 流动比率 | 2.07 | 1.73 | 1.77 | 1.53 | 1.45 |
| 营运资金变动 | -522 | -566 | -347 | -467 | -290 | 速动比率 | 1.50 | 1.10 | 0.89 | 0.76 | 0.71 |
| 其他经营现金流 | -106 | -8 | 55 | 60 | 74 | 营运能力 | |||||
| 0.23 | 0.26 | 0.38 | 0.43 | 0.46 | |||||||
| 投资活动现金流 | -909 | -716 | -731 | -756 | -777 | 总资产周转率 | |||||
| 资本支出 | -583 | -921 | -617 | -603 | -611 | 应收账款周转率 | 1.43 | 1.73 | 1.83 | 2.03 | 2.15 |
| 长期投资 | -348 | 205 | -175 | -233 | -269 | 应付账款周转率 | 2.56 | 2.52 | 2.61 | 2.81 | 2.92 |
| 其他投资现金流 | 22 | 0 | 61 | 80 | 103 | 每股指标（元） | |||||
| 1.01 | 0.89 | 1.23 | 1.65 | 2.06 | |||||||
| 筹资活动现金流 | 2218 | 906 | -971 | 546 | 231 | 每股收益（最新摊薄） | |||||
| 短期借款 | 396 | 324 | -971 | 546 | 231 | 每股经营现金流（最新摊薄） | -0.91 | -0.60 | 0.59 | 0.66 | 1.71 |
| 长期借款 | 363 | 61 | 0 | 0 | 0 | 每股净资产（最新摊薄） | 10.21 | 12.77 | 14.00 | 15.64 | 17.71 |
| 普通股增加 | 49 | 11 | 0 | 0 | 0 | 估值比率 | |||||
| 38.82 | 54.04 | 29.05 | 21.68 | 17.30 | |||||||
| 资本公积增加 | 1369 | 768 | 0 | 0 | 0 | P/E | |||||
| 其他筹资现金流 | 41 | -257 | 0 | 0 | 0 | P/B | 3.85 | 3.77 | 2.55 | 2.28 | 2.02 |
| 现金净增加额 | 1028 | -4 | -1515 | 0 | 0 | EV/EBITDA | 49.97 | 38.52 | 22.09 | 18.11 | 14.87 |
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专用机械
行业投资评级
强于大市：未来 6 个月内行业指数相对大盘涨幅 10％以上；
同步大市：未来 6 个月内行业指数相对大盘涨幅-10％至 10％之间；弱于大市：未来 6 个月内行业指数相对大盘跌幅 10％以上。
公司投资评级
买入：未来 6 个月内公司相对大盘涨幅 15％以上；
增持：未来 6 个月内公司相对大盘涨幅 5％至 15％；
观望：未来 6 个月内公司相对大盘涨幅－5％至 5％；
卖出：未来 6 个月内公司相对大盘跌幅 5％以上。
证券分析师承诺
本报告署名分析师具有中国证券业协会授予的证券分析师执业资格，本人任职符合监管机 构相关合规要求。本人基于认真审慎的职业态度、专业严谨的研究方法与分析逻辑，独立、客观的制作本报告。本报告准确的反映了本人的研究观点，本人对报告内容和观点负责，保 证报告信息来源合法合规。
重要声明
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