中微公司评级（买入）刻蚀机步入快车道，mini MOCVD蓄势待发

股票代码 ：688012
股票简称 ：中微公司
报告名称 ：刻蚀机步入快车道，mini MOCVD蓄势待发
评级 ：买入
行业：专用设备

公司研究

公司点评报告

刻蚀机步入快车道，mini MOCVD 蓄势待发

点评：

➢中报符合预期，订单饱满，盈利能力提升。二季度公司实现归母净利 2.59

亿元，同比增长 178.87%，排除公允价值变动损益等因素后，实现扣非净

利 0.51 亿元，同比增长 8.97%。

二季度公司综合毛利率达 43.5%，同比增长 9.5 pct，环比增长 2.6 pct，

主要得益于高毛利的刻蚀设备占比提升和 MOCVD 设备毛利率改善。上半

年公司刻蚀设备营收 8.58 亿元，同比增长 83.79%，毛利率 44.29%；

MOCVD 设备收入 2.19 元，毛利率达 30.77%，较 2020 年提升 11.6 pct。

公司在手订单饱满，上半年新签署订单金额达 18.89 亿元，同比增长超过

70%，部分 miniLED MOCVD 设备规模订单已进入最后签署阶段，将成为

下半年收入增长的强力保障。同时公司持续高研发投入，上半年研发支出达 2.86 亿元，占营收比重 21.4%。

➢CCP 领先优势保持，ICP 持续放量。刻蚀是前道工艺的核心环节，占晶圆

制造设备价值量 24%，为前道价值量最高环节，全球市场空间 120 亿美

元。主流的干法刻蚀工艺包括电容性等离子刻蚀（CCP）和电感性等离子

刻蚀（ICP）两种技术路线。

CCP 方面，公司为国内领军者，12 英寸高端设备已在台积电等国际龙头

晶圆厂 5nm 产线上实现量产，5nm 以下用于关键步骤加工的 CCP 设备亦

已经获得批量订单。3D NAND 制造环节，公司产品可满足 128 层的量产，

大马士革刻蚀、128 层以上极高深宽比刻蚀等产品亦在研发中。

ICP 方面，公司产品已趋于成熟。Primo nanova 产品在 10 家客户产线上

验证，超过 70 个工艺通过验证，6 月实现第 100 台反应腔交付，上半年

出货达 55 台，处于快速上量阶段。

➢MOCVD 技术升级，迎 miniLED 东风。公司用于 LED GaN 外延的 MOCVD

设备在全球市场占据垄断性地位，2018 年 Q4 份额已超过 70%。伴随

miniLED 商用落地，公司正式发布了用于高性能 miniLED 量产的 MOCVD

设备 Prismo UniMax，其加工容量可以延伸到生长 164 片 4 英寸或 72 片

6 英寸外延片。已收到来自国内龙头客户订单，有望受益下游需求的爆发

增长。

➢投资建议：我们预计公司 2021/22/23 年，营收分别为 32.82/44.80/62.51

亿元，归母净利润分别为 6.77/7.59/10.56 亿元，对应当前股价 PE 分别为

166/148/106 倍，PS 分别为 34/25/18 倍。公司作为半导体设备行业的龙

头公司，随着设备技术的不断突破，具备较强的国产替代确定性，市占率有望持续提升，维持“买入”评级。

请阅读最后一页免责声明及信息披露http://www.cindasc.com 1

➢风险因素：行业周期性波动风险；下游客户扩产不及预期风险；国际贸易摩擦

风险。

主要财务及估值数据（亿元）

资料来源：万得，信达证券研发中心预测 ; 股价为 2021 年 8 月 24 日收盘价

请阅读最后一页免责声明及信息披露http://www.cindasc.com 2

研究团队简介

方 竞，西安电子科技大学本硕连读，近 5 年半导体行业从业经验，有德州仪器等外企海外工作经历，熟悉半导体及消费电子产业链。同时还是国内知名半导体创业孵化平台 IC 咖啡的发起人，曾协助多家半导体公司早期融资。2017 年在太平洋证券，2018 年在招商证券，2020 年加入信达证券，任电子行业首席分析师。所在团队曾获 19 年新财富电子行业第 3 名；18/19 年《水晶球》电子行业第 2/3 名；18/19 年《金牛奖》电子行业第 3/2 名。

李少青，武汉大学硕士，2018 年加入西南证券，2020 年加入信达证券，熟悉半导体产业链。

刘志来，上海社会科学院金融硕士，2020 年加入信达证券，熟悉消费电子产业链。

童秋涛，复旦大学资产评估硕士，2020 年加入信达证券，从事电子行业研究。

机构销售联系人

请阅读最后一页免责声明及信息披露http://www.cindasc.com 4

分析师声明

负责本报告全部或部分内容的每一位分析师在此申明，本人具有证券投资咨询执业资格，并在中国证券业协会注册登记为证券分

析师,以勤勉的职业态度,独立、客观地出具本报告；本报告所表述的所有观点准确反映了分析师本人的研究观点；本人薪酬的任何

组成部分不曾与，不与，也将不会与本报告中的具体分析意见或观点直接或间接相关。

免责声明

信达证券股份有限公司(以下简称“信达证券”)具有中国证监会批复的证券投资咨询业务资格。本报告由信达证券制作并发布。

本报告是针对与信达证券签署服务协议的签约客户的专属研究产品，为该类客户进行投资决策时提供辅助和参考，双方对权利与 义务均有严格约定。本报告仅提供给上述特定客户，并不面向公众发布。信达证券不会因接收人收到本报告而视其为本公司的当 然客户。客户应当认识到有关本报告的电话、短信、邮件提示仅为研究观点的简要沟通，对本报告的参考使用须以本报告的完整 版本为准。

本报告是基于信达证券认为可靠的已公开信息编制，但信达证券不保证所载信息的准确性和完整性。本报告所载的意见、评估及 预测仅为本报告最初出具日的观点和判断，本报告所指的证券或投资标的的价格、价值及投资收入可能会出现不同程度的波动，涉及证券或投资标的的历史表现不应作为日后表现的保证。在不同时期，或因使用不同假设和标准，采用不同观点和分析方法，致使信达证券发出与本报告所载意见、评估及预测不一致的研究报告，对此信达证券可不发出特别通知。

在任何情况下，本报告中的信息或所表述的意见并不构成对任何人的投资建议，也没有考虑到客户特殊的投资目标、财务状况或 需求。客户应考虑本报告中的任何意见或建议是否符合其特定状况，若有必要应寻求专家意见。本报告所载的资料、工具、意见 及推测仅供参考，并非作为或被视为出售或购买证券或其他投资标的的邀请或向人做出邀请。

在法律允许的情况下，信达证券或其关联机构可能会持有报告中涉及的公司所发行的证券并进行交易，并可能会为这些公司正在 提供或争取提供投资银行业务服务。

本报告版权仅为信达证券所有。未经信达证券书面同意，任何机构和个人不得以任何形式翻版、复制、发布、转发或引用本报告 的任何部分。若信达证券以外的机构向其客户发放本报告，则由该机构独自为此发送行为负责，信达证券对此等行为不承担任何 责任。本报告同时不构成信达证券向发送本报告的机构之客户提供的投资建议。

如未经信达证券授权，私自转载或者转发本报告，所引起的一切后果及法律责任由私自转载或转发者承担。信达证券将保留随时

追究其法律责任的权利。

评级说明

风险提示

证券市场是一个风险无时不在的市场。投资者在进行证券交易时存在赢利的可能，也存在亏损的风险。建议投资者应当充分深入 地了解证券市场蕴含的各项风险并谨慎行事。

本报告中所述证券不一定能在所有的国家和地区向所有类型的投资者销售，投资者应当对本报告中的信息和意见进行独立评估，

并应同时考量各自的投资目的、财务状况和特定需求，必要时就法律、商业、财务、税收等方面咨询专业顾问的意见。在任何情

况下，信达证券不对任何人因使用本报告中的任何内容所引致的任何损失负任何责任，投资者需自行承担风险。

请阅读最后一页免责声明及信息披露http://www.cindasc.com 5